- 非IC关键词
企业档案
产品分类
优势库存(1000)普通库存(22099)集成电路(IC)(1)场效应管MOSFET(9)可控硅IGBT(4)电容器(24)电感器(1)电位器(1)电源/稳压器(58)连接器/接插件(24)普通电池/蓄电池/动力电池(15)变压器(1)变送器(111)继电器(12)变频器(59)逆变器(1)放大器(47)电声元件(1)电声(扬声器)配件(2)电线电缆(57)光电子/光纤/激光(29)电子调谐器/高频头(2)微特电机(4)显示屏/显示器件/配件(48)PLC/可编程控制器(83)编码器(56)安防监控器材(1)IT/电子产品成套件(1)电子测量仪器(371)电子产品试验设备(2)仪器/仪表(2082)五金/工具(734)其他未分类(296)
- 逻辑IC(1)
- 双向可控硅(晶闸管)(2)
- 可控硅(晶闸管)模块(2)
- 功率电感(1)
- 密封式电位器(1)
开关(78)
传感器(779)
- 光电/光敏传感器(8)
- 光学传感器(6)
- 电磁传感器(2)
- 磁敏传感器(1)
- 霍尔传感器(1)
- 电流(压)传感器(6)
- 电量传感器(1)
- 电场传感器(1)
- 电导率传感器(1)
- 压电传感器(4)
- 温(湿)度传感器(57)
- 声波/声敏传感器(1)
- 光纤/激光传感器(10)
- 测距/距离传感器(13)
- 视觉/图像传感器(18)
- 微波传感器(1)
- 光栅(幕)传感器(1)
- 压力传感器(157)
- 力敏传感器(4)
- 称重传感器(18)
- 测力/力矩/扭矩传感器(40)
- 速度传感器(5)
- 加速度传感器(31)
- 气体/气敏/烟雾传感器(100)
- 液位传感器(10)
- 物(料)位传感器(7)
- 振动/接近/位移传感器(108)
- 线性传感器(2)
- 流量传感器(14)
- 风速/风向/风量传感器(1)
- 角度/倾角传感器(13)
- 色标/颜色传感器(1)
- 火焰(警)传感器(3)
- 旋转传感器(1)
- 位置传感器(2)
- 长度传感器(1)
- 陀螺仪(2)
- 其他传感器(127)
- 其他变压器(1)
- 其它逆变器(1)
- 放大器(31)
- 其他扬声器(1)
- 其它电声(扬声器)配件(2)
- 光纤/光缆(3)
- 光/光纤衰减器(2)
- 光纤收发器(1)
- 光纤分支/分路/分配器(1)
- 光纤适配器(2)
- 光纤藕合器(1)
- 光纤网卡(1)
- 激光头(1)
- 激光器(9)
- 其他光电子、激光器件(8)
- 字符/字段/图形点阵LCD液晶显示模块(屏)(3)
- TFT LCD液晶显示屏(模块)(4)
- VFD荧光显示模块(屏)(2)
- 触摸屏(33)
- DLP光显屏(组件)(1)
- 其他显示器件(5)
- 门禁考勤系统(1)
- PCB板卡(1)
- 万用表/多用电表(4)
- 毫欧/毫伏表(1)
- 兆欧表(摇表)(1)
- 电桥(1)
- 衰减器(3)
- 示波器(12)
- 高(耐)压/绝缘测试仪(3)
- 信号发生器/信号源模块(4)
- 功率计(8)
- 功率分析仪(2)
- 光功率计(5)
- 亮度/照度计(1)
- 噪声系数测试/分析仪(1)
- 阻抗分析仪(1)
- 频谱分析仪(2)
- 网络分析仪(4)
- 网络测试仪(2)
- 表面/接地/绝缘电阻测试仪(20)
- 综合测试/分析仪(1)
- 电磁兼容(EMC)测量仪器(1)
- 点温计(1)
- 测量探头及附(配)件(159)
- 其它电子测量仪器(134)
- 其他试验设备(2)
电子材料(2)防静电产品(1)
- 静电消除器(棒/机)(1)
- 五金/工具(35)
- 其他(122)
您的当前位置:上海闻企电子科技有限公司 > 元器件产品
EDWARDS 爱德华干泵控制器IH160/1800AC产品编号A53316711
型号/规格:
干泵控制器IH160/1800AC
品牌/商标:
EDWARDS 爱德华
电压:
220V
价格:
13860.0
相关产品
产品信息
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
- 负载锁
- 输送
- 计量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 预清洁
- RTA
- 剥离/灰化
- 刻蚀
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。
功能和优势
- 优化了设施消耗。
- 无需预防性维护。
- 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
- 在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
- 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
- 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
- 整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 | 165 m3h-1 |
97 cfm | |
2750 l min-1 | |
极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
7.5 x 10-3 Torr | |
1 Pa | |
典型轴封氮流量 | 4 slm |
进气口连接 | ISO63 |
出口连接 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
2 l min-1 | |
重量 | 244 kg |
极限功率输入 | 3.1 kW |
电机额定功率 | 5.0 kW |
油容量 | 0.85 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。